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  富睿思仪器专心原子力显微镜与白光轮廓仪自主研制，致力于供给国产高端精细丈量处理计划，推进科研与半导体职业开展。

  当半导体制作向纳米标准前进，当新资料研制亟需精准的外表表征，当国产高端仪器“卡脖子”的痛点亟待处理——富睿思瞄准的，正是这片充溢应战与机会的蓝海。他们聚集原子力显微镜（AFM）与白光轮廓仪（WLI）等中心设备，致力于打造功能牢靠、彻底自主的国产化处理计划，为科学研究和泛半导体职业供给强有力的量测支撑。

  富睿思仪器（FreeSpirit Instruments）创立于2021年，是一家专心于外表精细丈量设备自主研制与出产的高新技能企业，根本的产品包含原子力显微镜、白光轮廓仪等。创始人及技能团队均身世于天津大学精仪系，具有厚实的技能堆集和丰厚的实践经验。公司致力于推进先进量测技能的开展，为科学研究和泛半导体职业供给较为牢靠的国产处理计划。近来，仪器信息网资料物性部走进富睿思出产基地——富睿思(姑苏)仪器有限公司，特别采访了富睿思仪器联合发起人兼首席科学家、天津大学副教授

  原子力显微镜范畴。从博士阶段到留校任教，十余年的深耕让他对这项技能的了解早已逾越理论层面。“其时评价了咱们的技能水平达到了必定成熟度，就发动了产品化进程——创立了企业，”吴森回想，“让研究效果落地”正是他的初衷。

  研制-出产-运营三地协同” 的格式：姑苏作为出产基地，天津承载研制中心，上海总部担任战略统筹。曩昔四年，团队不只按计划搭建起多条产品线年完结了向科研院所及工业客户的交给，2025年发动的品牌推行计划，则让“富睿思”这一个姓名开端在职业界锋芒毕露。

  “专心于外表精细丈量设备的自主研制与制作，现在产品以原子力显微镜和白光轮廓仪为主，”谈及公司定位，吴森的方针明晰而坚决，“首先要成为国内外表精细丈量范畴的领军企业，未来时机成熟，还会拓宽更多量测技能相关事务。” 现在公司已构成的产品线包含：原子力显微镜系列，推出了5款面向半导体工业和资料科研范畴的机型；白光轮廓仪系列，推出了1款紧凑机型，一起支撑特别定制。

  2018年的一次技能授权，至今让吴森浮光掠影。团队开发的根据原子力显微镜的掩模板修正技能获原子力显微镜全球顶尖制作商的喜爱。这项效果授权后终究使用于世界头部半导体企业的EUV产线，处理了困扰职业的EUV掩模修正难题。“我从没想过，咱们这样的团队能向国外顶尖企业输出技能，还能为全球最先进的半导体制程做奉献。”吴森笑言。这笔授权收入不只成了创业的发动资金，更让团队坚信：“我国技能能解世界难题。”

  真实的“硬核攻关”发生在2019年。控制器作为原子力显微镜的“发动机”，直接决议设备丈量才能的上限。他们研制的根据FPGA架构的通用型原子力显微镜控制器，集成了很多高速、高精度的ADC和DAC，能一起完结不少于四个通道的数字锁相扩大，功能直指国外一流产品。2020年，这款控制器成功交给给国内同行并完结量产，经过多年迭代，现在已经成为功能顶尖的国产控制器。“它证明了咱们在要害电子体系和软件方面的开发实力，也让咱们一直信任咱们具有研制高端原子力显微镜的潜力。”

  从部件到整机”的跨过。在国家重点研制项目支撑下，团队向国家计量院交给了一台适用于12英寸晶圆的计量型原子力显微镜。这台设备搭载自研的三维扫描式测头，验证了光路和机械结构的一系列立异规划。2023年，团队自研的面向大型显现面板在线检测的主动化原子力显微镜在武汉华星光电完结演示使用，并经过科技部检验。“这验证了咱们的设备在杂乱工况中的稳定性。”吴森说。

  现在，富睿思的产品线已初具规模。走进富睿思的产品世界，会邂逅一场科学与艺术的浪漫交响——其AFM与WLI产品均以乐器命名。“仪器和乐器在英文中都是的‘Instrument，”吴森笑着解说命名根由。AFM-Baritone(男中音)标志厚重功能，装备200毫米全主动样品台，可处理8英寸晶圆;AFM-Piccolo(短笛)以7毫米超薄测头完结光学显微体系的原位集成，如短笛般轻盈精准;WLI-Marimba(马林巴琴)白光轮廓仪则能与Piccolo同轴联动，奏响“大范围快速扫描”与“微区高分辩成像”的协奏。

  要害技能指标和根本功能本质上已不逊于一线进口品牌的旗舰产品，”吴森直言富睿思的中心竞争力。团队经过系列首创规划直击职业痛点：三维正交扫描测头不受样品尺度分量约束，消除图画拱形畸变；主动换针体系 “一键完结”探针装卸和激光调整，躲避人为失误；变速变增益扫描技能主动优化扫描参数，明显延伸探针寿数并提高大崎岖样品成像质量；真三维丈量形式则完结了峻峭侧壁勘探，供给完好三维描摹。

  快速呼应”。“咱们能实时解析半导体、面板企业的特别需求，根据自主研制才能快速定制计划。”

  历史性拐点”：方针支撑、商场需求、技能堆集构成了三重共振。 他观察到，仅原子力显微镜范畴，国内就涌现出10余家立异企业（姑苏占4家），“但这仅仅起点，我们要沉下心做技能，做出特征，”是他对国产仪器远景的看好。

  富睿思的方针明晰而坚决，是捉住国产仪器的方针与商场机会，全力打破立异，完结公司开展的“阶段性跃迁”。吴森的愿景很清晰——期望富睿思成为国内这样的范畴的领军者，再走向世界，成为有世界竞争力的品牌。他还有个更理性的等待：“期望下一代读大学时，能在试验室里用上父辈开发的仪器——那会是一件无比骄傲的事。”